晶圆温控监测系统项目采购信息公开（科研仪器设备类）
· 2024-10-31
一、采购单位：电子与信息工程学院
二、项目名称：晶圆温控监测系统
三、公开信息：
1.设备名称：晶圆温控监测系统
2.数量：1
3.关键技术指标：兼容不同类型的晶圆片或者板级片，普通状态/真空环境下可按不同测温点要求定制各线段材质及长度，
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